微細加工技術
- フォーマット:
- 図書
- 責任表示:
- 高分子学会編
- 言語:
- 日本語
- 出版情報:
- 東京 : エヌ・ティー・エス, 2002.9
- 形態:
- v, 192, vp ; 27cm
- 著者名:
高分子学会 <DA00047161> 大津, 元一(1950-) <DA01343986> 河田, 聡 <DA08167258> 益子, 信郎 <DA18473170> 下田, 達也 <DA18473228> 東, 博純 緒方, 寿幸 - シリーズ名:
- ポリマーフロンティア21シリーズ ; 13 <BA46100324>
- 目次情報:
-
基礎編: 近接場光学を用いたナノフォトニクスとそのための微細加工 大津元一 [執筆] フェムト秒レーザーによる超微細光造形法 河田聡 [執筆] 自己組織化的手法による微細加工の将来展望 益子信郎 [執筆] マイクロリキッドプロセスを用いたデバイス創成と将来展望 下田達也 [執筆] 連続型EUVリソグラフィ開発と樹脂感光性評価 東博純 [執筆] 新しい露光方法に対応したレジスト材料の開発 緒方寿幸 [執筆] - 書誌ID:
- BA59010960
- ISBN:
- 9784860430061 [4860430069] (基礎編)
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