著者典拠情報

標目形：
小柳, 光正||コヤナギ, ミツマサ
属性：
Personal
注記：
Xerox Corp.Palo Alto Research Center勤務
広島大学集積化システム研究センター教授:「サブミクロンデバイス」(1990年, 丸善)奥付より
東北大学工学部教授(1994〜)
著者典拠ID：
DA00270005


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1.

図書
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1. Materials and technologies for 3-D integration : symposium held December 1-3, 2008, Boston, Massachusetts, U.S.A.
editors, Fred Roozeboom ... [et al.]
出版情報: Warrendale, Pa. : Materials Research Society, c2009
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings ; v. 1112
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2.

図書
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2. サブミクロンデバイス (1 ; 2)
小柳光正著
出版情報: 東京 : 丸善, 1987.7-1988.1
シリーズ名: 電子材料シリーズ
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3.

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3. VLSIデバイスの物理
岸野正剛, 小柳光正共著
出版情報: 東京 : 丸善, 1986.7
シリーズ名: 電子材料シリーズ
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