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1.

図書
図書
1. Microchip fabrication. 6th ed
Peter Van Zant
出版情報: New York : McGraw-Hill, c2014
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2.

図書
図書
2. Introduction to semiconductor manufacturing technology. 2nd ed
Hong Xiao
出版情報: Bellingham, Wash. : SPIE, c2012
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3.

図書
図書
3. Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control
Gary S. May, Costas J. Spanos
出版情報: [Piscataway] : IEEE , Hoboken, N.J. : Wiley-Interscience, c2006
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4.

図書
図書
4. Principles of growth and processing of semiconductors (:Inter. ed.)
S. Mahajan, K.S. Sree Harsha
出版情報: Boston : WCB/McGraw-Hill, c1999
シリーズ名: McGraw-Hill series in materials science and engineering
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5.

図書
図書
5. Silicon front-end technology--materials processing and modelling, symposium held April 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A.
editors, Nichoals E.B. Cowern ... [et al.]
出版情報: Warrendale, Pa. : Materials Research Society, c1998
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings ; v. 532
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6.

図書
図書
6. Fundamental electrochemistry and physics (: alk paper)
Campbell, S. A. ; Lewerenz, H. J.
出版情報: Chichester, England ; New York : Wiley, c1998
シリーズ名: Semiconductor micromachining / edited by S. A. Campbell and H. J. Lewerenz ; . v. 1
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7.

図書
図書
7. Techniques and industrial applications (: alk. paper)
Campbell, S. A. ; Lewerenz, H. J.
出版情報: Chichester, England ; New York : Wiley, c1998
シリーズ名: Semiconductor micromachining / edited by S. A. Campbell and H. J. Lewerenz ; v. 2
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