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図書

1. Microelectromechanical systems-materials and devices II : symposium held December 1-2, 2008, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, Srikar Vengallatone ... [et al.]

出版情報:	Warrendale, Pa. : Materials Research Society, c2009
シリーズ名:	Materials Research Society symposium proceedings ; v. 1139
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図書

2. Microelectromechanical systems-materials and devices : symposium held November 26-28, 2007, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, David A. LaVan ... [et al.]

出版情報:	Warrendale : Materials Research Society, c2008
シリーズ名:	Materials Research Society symposium proceedings ; v. 1052
子書誌情報:	loading…
所蔵情報:	loading…