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半導体製造の技術開発

フォーマット:
図書
責任表示:
坂野進〔ほか〕編集
言語:
日本語
出版情報:
東京 : 日本規格協会, 1994.10
形態:
366p ; 21cm
著者名:
坂野, 進(1942-) <DA12258448>  
シリーズ名:
品質工学応用講座 <BN08506326>
書誌ID:
BN11659879
ISBN:
9784542511101 [4542511103]  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
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1 図書 超微細加工の基礎 : 半導体製造技術

麻蒔, 立男(1934-)

日刊工業新聞社
7 図書 半導体立国 : 製造装置の明日を語る

日本半導体製造装置協会

日刊工業新聞社
2 図書 半導体製造プロセスと材料

大見, 忠弘(1939-)

シーエムシー出版
8 図書 半導体材料と単結晶の製造

犬塚, 英夫(1910-), 高林, 真

日刊工業新聞社
3 図書 半導体技術

庄野, 克房(1934-)

東京大学出版会
9 図書 半導体レーザと応用技術

米津, 宏雄

工学社
4 図書 半導体評価技術

河東田, 隆(1944-), 菅野, 卓雄(1931-), 奥村, 次徳

産業図書
10 図書 半導体・集積回路技術

塚本, 哲男

槙書店
5 図書 半導体SiC技術と応用

松波, 弘之(1939-)

日刊工業新聞社
11 図書 半導体産業と先端技術

米津, 宏雄

工学図書
6 図書 半導体SiC技術と応用

松波, 弘之(1939-), 大谷, 昇, 木本, 恒暢, 中村, 孝

日刊工業新聞社
12 図書 半導体技術ゼミナール

曽根, 仁(1933-)

誠文堂新光社