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1.

図書
図書
1. Nano and micromachining
Edited by J. Paulo Davim, Mark J. Jackson
出版情報: London : ISTE , Hoboken, N.J. : John Wiley & Sons, 2009
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2.

図書
図書
2. Silicon micromachining
M. Elwenspoek and H.V. Jansen
出版情報: Cambridge, [England] ; New York : Cambridge University Press, 1998
シリーズ名: Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering ; 7
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3.

図書
図書
3. Fundamental electrochemistry and physics (: alk paper)
Campbell, S. A. ; Lewerenz, H. J.
出版情報: Chichester, England ; New York : Wiley, c1998
シリーズ名: Semiconductor micromachining / edited by S. A. Campbell and H. J. Lewerenz ; . v. 1
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4.

図書
図書
4. Techniques and industrial applications (: alk. paper)
Campbell, S. A. ; Lewerenz, H. J.
出版情報: Chichester, England ; New York : Wiley, c1998
シリーズ名: Semiconductor micromachining / edited by S. A. Campbell and H. J. Lewerenz ; v. 2
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