半導体評価技術
- フォーマット:
- 図書
- 責任表示:
- 河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆
- 言語:
- 日本語
- 出版情報:
- 東京 : 産業図書, 1989.2
- 形態:
- viii, 330p ; 22cm
- 著者名:
- シリーズ名:
- 集積回路プロセス技術シリーズ <BN00597860>
- 書誌ID:
- BN03233656
- ISBN:
- 9784782856277 [478285627X]
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