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1.

電子ブック
ＥＢ
1. MEMS Materials and Processes Handbook
edited by Reza Ghodssi, Pinyen Lin
出版情報: Boston, MA : Springer Science+Business Media, LLC, 2011
シリーズ名: MEMS Reference Shelf ;
オンライン: http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-47318-5
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2.

電子ブック
ＥＢ
2. Introductory MEMS : Fabrication and Applications. 1
by Thomas M. Adams, Richard A. Layton
出版情報: Boston, MA : Springer Science+Business Media, LLC, 2010
オンライン: http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-09511-0
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3.

電子ブック
ＥＢ
3. Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration
by J. Laconte, D. Flandre, J. -P. Raskin
出版情報: Boston, MA : Springer, 2006
オンライン: http://dx.doi.org/10.1007/0-387-28843-0
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