Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration
- フォーマット:
- 電子ブック
- 責任表示:
- by J. Laconte, D. Flandre, J. -P. Raskin
- 言語:
- 英語
- 出版情報:
- Boston, MA : Springer, 2006
- 形態:
- v.: digital
- 著者名:
- 書誌ID:
- NB02213912
- ISBN:
- 9780387288437 [0387288430]
- 学内からのみアクセスすることができます。
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