Piezoelectric Multilayer Beam Bending Actuators : Static and Dynamic Behavior and Aspects of Sensor Integration
- フォーマット:
- 電子ブック
- 責任表示:
- by Rudiger G. Ballas
- 言語:
- 英語
- 出版情報:
- Berlin, Heidelberg : Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2007
- 形態:
- v.: digital
- 著者名:
- シリーズ名:
- Microtechnology and Mems ;
- 書誌ID:
- NB02214201
- ISBN:
- 9783540326427 [3540326421]
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