Design and Manufacturing of Active Microsystems
- フォーマット:
- 電子ブック
- 責任表示:
- edited by Stephanus Büttgenbach, Arne Burisch, Jürgen Hesselbach
- 言語:
- 英語
- 出版情報:
- Berlin, Heidelberg : Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2011
- 形態:
- v.: digital
- 著者名:
- シリーズ名:
- Microtechnology and MEMS ;
- 書誌ID:
- NB02223296
- ISBN:
- 9783642129032 [364212903X]
- 学内からのみアクセスすることができます。
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