マイクロ・ナノ領域の超精密技術

フォーマット:

図書

責任表示:

日本学術振興会将来加工技術第136委員会編

言語:

日本語

出版情報:

東京 : オーム社, 2011.3

形態:

ix, 374p ; 22cm

著者名:

日本学術振興会将来加工技術第136委員会 <DA11194044>  

書誌ID:

BB05402454

ISBN:

9784274210051 [4274210057]