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Techniques and industrial applications

フォーマット:
図書
責任表示:
Campbell, S. A. ; Lewerenz, H. J.
言語:
英語
出版情報:
Chichester, England ; New York : Wiley, c1998
形態:
xii, 389 p. : ill. ; 24 cm.
著者名:
シリーズ名:
Semiconductor micromachining / edited by S. A. Campbell and H. J. Lewerenz ; v. 2 <BA35616198>
書誌ID:
BA35637416
ISBN:
9780471966821 [0471966827] (: alk. paper)  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
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